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真空泵的类型非常多,划分方法也多样:按工作原理分:容积变化泵(如旋片泵、涡旋泵等);动量传输泵(如分子泵、扩散泵等);吸附捕集泵(如低温泵、离子泵、吸气剂泵)按工作介质分:干式泵(如涡旋泵、分子泵、离子泵等)和非干式泵(如旋片泵、扩散泵等)按真空度分:低真空泵(如旋片泵、涡旋泵、罗茨泵等)、高真空泵(如分子泵、扩散泵、低温泵等)、超高真空泵(如离子泵、钛升华泵、吸气剂泵等)
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